METRONIX 伺服
安川伺服
用于半导体设备8"及12"用Spinner电机
-适用于Coater,Developer及Scruber
-实现高效率瞬间加速特性-100000rps以上
-可根据要求,定做各种Spinner电机
-采用磁性流体密封,强化了耐环境性
-表面进行了特殊涂层处理,强化了耐腐蚀性
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